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molbox RFM 基準流量モニター
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molbox RFMは、molbloc-Lの層流エレメントとmolbloc-Sの音速流エレメントを使用して質量流量測定を行う支援装置です。
molblocの流量エレメントは、2つの圧力接続と1つのデータ・ラインでmolbox RFMに接続されます。molbox RFMは、高確度の内蔵基準圧力トランスデューサー（RPT）によってmolbloc EEPROMからの校正データを読み取り、molblocの上流および下流の圧力を測定します。電気抵抗測定システムがmolblocの白金抵抗温度計の抵抗を読み取り、molblocの温度を計算します。molbox RFMメモリーに格納されたmolblocの校正データ、圧力、温度、およびガスの特性を使用して、molblocから流出するガスの流量が計算されます。molbloc-Lの流量エレメントについては、マイクロレンジ・オプションを使用して流量計の分解能と確度を流量レンジの10% FS以下にすることができます。
molbox RFMとmolblocの流量エレメントは、高確度の低ガス流量測定が必要な様々な測定、テスト、および校正アプリケーションで役に立ちます。molbox RFMは特に、コンパクトさ、広いレンジアビリティ、およびコスト削減が重要な用途向けに設計されています。2つ目のモデルであるmolbox1+は、不確かさを最小限に抑えることが最優先の用途に利用できます。質量流量校正システムを構成するには、問題とする流量レンジと圧力条件に適合させるために、molblocと圧力依存性校正の選択のための後述のページを参照してください。molstic取り付けシステムとmolboxの流量校正用COMPASS®ソフトウェアを使用してシステムを完成させることができます。
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
- コンパクトさ
- molbloc-Lで1 sccm～100 slmの流量レンジ、molbloc-Sで最大5000 slmの流量レンジに対応
- 様々な20のガスから選択
- 最大100：1のレンジアビリティで、読み値の± 0.5%の認定された測定不確かさ
- オンボード・パージ、リーク・テスト、および風袋をサポートする内部バルブ調整
- 合計、平均、hi/lo、および誤差などの高度な測定機能
- フロントパネルからの完全な制御とRS232およびIEEE-488のリモート通信
- ユーザー設定可能な基準圧力条件と基準温度条件を用いた質量流量と体積流量の測定
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
流量測定の仕様
molbox RFMはmolbloc流量エレメントを通して流量を測定します。molbloc-Lの流量レンジ、使用可能な圧力、差圧、またはmolbloc-Sの流量レンジおよび絶対圧レンジは、使用されるmolblocエレメントとその校正オプションに応じて変わります。校正とレンジの詳細については、molbloc-Lとmolbloc-Sのレンジ・シートを参照してください。
3E4までのmolbloc-Lレンジでは、マイクロレンジ・オプションを使用すると分解能および確度が10% FS以下に向上します。1E5-L molblocでは、仕様を達成するためにマイクロレンジ・オプションが必要です。
molbox RFM |
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molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） |
molbloc-S（すべてのレンジ） |
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測定更新速度
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1 秒 |
1 秒 |
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レンジ |
ガスとmolblocの圧力に応じてmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lのレンジ・シートを参照） |
流量は20～200 kPa（3～30 psia）の上流絶対圧力または50～500 kPa（7～70 psia）の上流絶対圧力に関連 （molbloc-Sのレンジ・シートを参照） |
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分解能 |
0.01% FS |
読み値の± 0.01% |
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直線性 |
読み値の± 0.23%（10～100% FS）、 ± 0.023% FS（10% FS以下） |
読み値の± 0.25% |
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再現性 |
読み値の± 0.1%（10～100% FS）、 ± 0.0% FS（10% FS以下） |
読み値の± 0.1% |
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確度1 |
読み値の± 0.25%（10～100% FS）、 ± 0.025% FS（10% FS以下） |
読み値の± 0.3% |
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予測安定度 2 |
読み値の± 0.15%（10～100% FS）、 ± 0.015% FS（10% FS以下） |
任意のガス） |
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測定の不確かさ3
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読み値の± 0.5%（10～100% FS）、 ± 0.05% FS（10% FS以下） |
読み値の± 0.5%（50～500 kPa）、50 kPaの流量の± 0.5% （20～50 kPa） |
マイクロレンジ・オプション付きのmolbox RFM |
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molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） |
molbloc-L（1E5のレンジのみ） |
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測定更新速度 |
1 秒 |
1 秒 |
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レンジ |
ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lの表を参照） |
ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lの表を参照） |
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分解能 |
0.01% FS（0.001% FS以下） 10% FS |
0.01% FS |
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直線性 |
読み値の± 0.23%（1～100% FS）、± 0.0023% FS（1% FS以下） |
読み値の± 0.25%（5～100% FS）、 ± 0.0125% FS（5% FS以下） |
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再現性 |
読み値の± 0.1%（1～100% FS）、 ± 0.001% FS（1% FS以下） |
読み値の± 0.2%（5～100% FS）、 ± 0.01% FS（5% FS以下） |
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確度 1 |
読み値の± 0.25%（1～100% FS）、 ± 0.0025% FS（1% FS以下） |
読み値の± 0.32%（5～100% FS）、 ± 0.016% FS（5% FS以下） |
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予測安定度 2 |
読み値の± 0.15%（1～100% FS）、 ± 0.0015% FS（1% FS以下） |
読み値の± 0.2%（5～100% FS）、 ± 0.01% FS（5% FS以下） |
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測定の不確かさ 3 |
読み値の± 0.5%（1～100% FS）、 ± 0.005% FS（1% FS以下） |
読み値の± 0.5%（5～100% FS）、 ± 0.025% FS（5% FS以下） |
molbloc-S（すべてのレンジ）
仕様はマイクロレンジのないmolbox RFMと同じです。molbox RFMがmolbloc-Sに接続されている場合、マイクロレンジ・トランスデューサーは無効になります。
1精度：直線性、ヒステリシス、再現性を組み合わせた値。
2 予測安定度：通常の条件下で使用される一般的な molbox RFM と molbloc の 1 年間の最大変化。安定度は予測でしかありません。特定のmolbox RFMの安定度は経験から確立する必要があります。
3 測定の不確かさ：精度、安定度、および DHI 校正標準器の不確かさを含めた molbloc の流量の実際値と molbox RFM 流量計との最大誤差。molblocの測定の不確かさの仕様は、molblocの校正を行ったガスにのみ有効です。すべてのmolblocはN2で校正されています。別のガスを用いた校正はオプションです。DHIの校正能力は、molblocの全タイプについて、すべてのガスに対して常に維持されるわけではありません。ご注文の前に、在庫の有無をチェックしてください。
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
| アクセサリ | 詳細 |
|---|---|
| MFC-CBコントロール・ボックス |
MFC-CB コントロール・ボックス 内容： |
| molbloc/molbox ユーザー向けの校正補助ソフトウェア | |
| molstic-L取り付けシステム | |
| molstic-S取り付けシステム | |
| RFM-RMK |
ラック・マウント・キット |
| RFM 02 |
Microrange |
| 製品マニュアル |
|---|
molbox™ RFM™ Operation and Maintenance Manual (1.59 MB) |
|
molbox™ RFM™ Operation and Maintenance Supplement (46.05 KB) |
| データ・シート |
|---|
|
5141 / 5142 / 5144 molbox RFM Gas Flow Calibrator Kits Technical Data (2.15 MB) |
|
molbox RFM Reference Flow Monitor Technical Data (1.71 MB) |
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molbox1+™ Flow Terminal Data Sheet (1.92 MB) |
| ソフトウェア |
|---|
| COMPASS for Flow PC Based Software Download/Upgrade |
| COMPASS for molbox PC Based Software Download/Upgrade |
| ファームウェア |
|---|
| molbox RFM™ v1.20d Embedded Software |
| LabView ドライバー |
|---|
| LabVIEW Drivers, Pressure and Flow Calibration Products |
| フリー・ユーティリティ |
|---|
| CalTool for RPTs Free Utility |
| molLoad Free Utility |
| On-Demand Webinars |
|---|
| How to calibrate rotameters and other density-dependent flow meters |